クリーンルームからサブ・ファブまで信頼と実績のSCREEN SPE サービス周辺装置が半導体装置ラインの最適化を実現します。
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純水昇圧装置・薬液供給装置
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純水昇圧ユニット |
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昇圧機能付き 純水加温ユニット |
空調ユニット
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省エネ・大容量空調ユニット |
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その他周辺装置
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排気スクラバーユニット |
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ホットプレート／クールプレート |
クリーンエアシステム
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簡易クリーンブース |
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SEBAPROツール
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SEBAPRON（耐薬エプロン セバプロン） |
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