製品情報
純水昇圧ユニット
純水供給圧の不足や変動を解消
機能豊富な高性能仕様で、厳しいプロセス要求にも対応。
ユニット機能に対し、コンパクトなデザインを実現。
ベアリングのない磁気浮上型遠心ポンプの採用で、常識を超える低発塵性能と耐久性能を実現。
昇圧目標値に対し常時監視を行い、ポンプをフィードバック制御。元圧変動に対しても安定・安心。
特長
- 高いプロセス性能を持つ磁気浮上遠心仕様のレビトロニクスポンプを採用。
- フィードバック制御機能により、設定圧力となるよう、ポンプの回転を制御。
- 脈動のない安定した供給を実現。
- 幅広い供給流量に対し、小さなフットプリントで実現。
- 純水温度監視機能、純水元圧の監視機能（オプション）など対応可能。
- 供給先装置のさまざまな通信仕様に対応可能。
仕様
| 装置寸法 | 500 mm（幅）× 690 mm（奥）× 1,470 mm（高） |
|---|---|
| 装置材質 | PVC |
| BPS-600 搭載時 | BPS-4 搭載時 | |
|---|---|---|
| 供給流量 | 一次側 DIW 元圧＋0.15 MPa | 一次側 DIW 元圧＋0.25 MPa |
| 最大昇圧能力 | （例）元圧 0.2 MPa の場合 ⇒ 昇圧後 0.35 MPa |
（例）元圧 0.2 MPa の場合 ⇒ 昇圧後 0.45 MPa |
| 最大供給流量 | 20 L/min | 60 L/min |
| 最大使用圧力 | 0.5 MPa | |
| 制御 / 操作方式 | PLC制御方式 / タッチパネル | |
| 非常停止ボタン | 設置 | |
| 漏液検知 | リークセンサー | |