作業台エリアを集中的に、クラス100の清浄度を確保。
| 幅寸法 | 1,300 mm |
|---|---|
| 装置寸法 | 1,300 mm（幅） × 1,100 mm（奥） × 約1,860 mm（高） |
| 清浄度 | クラス100 |
| 吹出風速 | 0.5 m/s |
| 処理風量 | 20 m3/min |
| 集塵効率 | 0.3 μm粒子にて99.97％以上 |
| HEPAフィルター | 610 mm × 610 mm × t68 × 2（枚） |
| 照明灯 | 40 W × 4 |
| 電源 | AC100V 50/60 Hz |
※写真のタイプ
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